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水环式(shì)真空泵选型方法

时(shí)间:2018-3-24 14:57:12 来源:弘凌泵阀

真空泵选型方法

1、真空(kōng)泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作(zuò)压强要求。如:真空镀膜要(yào)求1×10-5mmHg的真空度(dù),选用的(de)真空泵的(de)真空度至少要5×10-6mmHg。通常(cháng)选择泵的真(zhēn)空度要高于真空设备(bèi)真空度半个到一个数(shù)量级。

2、正确地(dì)选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为  10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内(nèi),泵(bèng)的抽速随(suí)压强而变(biàn)化,其(qí)稳定的工作(zuò)压强范围为 5×10-4~5×10-6mmHg。因(yīn)而,泵的工作点应该选在这个范(fàn)围之(zhī)内,而不能(néng)让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华(huá)泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、真(zhēn)空泵在其工作压强下,应能排走真空设(shè)备工艺过(guò)程中产生的全部气体量。 

4、正(zhèng)确地组合真(zhēn)空泵。由于(yú)真空(kōng)泵有选择(zé)性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几(jǐ)种(zhǒng)泵组合起来,互相(xiàng)补充才能满足抽气要求。如钛升华泵(bèng)对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而(ér)三极型溅射离子泵,(或二极(jí)型非对称阴极(jí)溅射离子泵)对氩有一(yī)定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真(zhēn)空度。另外,有的真空泵不能在(zài)大(dà)气压下工作,需要预真空;有的真(zhēn)空泵出口压(yā)强低于大气压,需要(yào)前级泵,故都需要(yào)把泵组合(hé)起来使用。

5、真空设备对(duì)油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施(shī),如加冷阱、障板、挡油(yóu)阱(jǐng)等,也(yě)能达到清洁真空要(yào)求。

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无(wú)颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒(lì)、及腐蚀性(xìng)气体,应该考(kǎo)虑在(zài)泵的(de)进气口管路上安装辅助设备(bèi),如冷凝器、除尘(chén)器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环(huán)境的影响如何。如果(guǒ)环(huán)境不允许有污(wū)染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工(gōng)作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响(xiǎng)。若工艺(yì)过程不允许,应选择无振动的泵或者采(cǎi)取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。 

水环式真空泵选型方法

一、泵类型的确定 

泵的(de)类型主要(yào)由工作所需的气量(liàng)、真空度或排气(qì)压(yā)力而定。 

泵工作时,需要(yào)注意(yì)以下两个方(fāng)面: 

1、尽可能要求在高效区(qū)内,也就是在临界真空度(dù)或临(lín)界排气压力的区域(yù)内运行(háng)。       

2、应(yīng)避免在大真空度或(huò)大排气压力附近运行。在此区域内(nèi)运行(háng),不仅效率极低,而且(qiě)工作很不稳定,易产生振动和噪(zào)音。对于真(zhēn)空(kōng)度较高的真空泵而言,在此区域之(zhī)内运行,往往还会发生汽蚀现象(xiàng),产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮(lún)等零件的损坏,以致泵(bèng)无法工作。 

根据以上原(yuán)则(zé),当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵(bèng)中(zhōng)选取。如(rú)果真空度或(huò)排气压力(lì)较高,单(dān)级泵往往不能满足,或(huò)者,要求(qiú)泵在较高真空度情况下仍有(yǒu)较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦(tǎn),可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上(shàng),可选用(yòng)水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。 

如果只作(zuò)真空泵用(yòng),则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单,容易制造(zào)和(hé)维护,且在高真空(kōng)情况(kuàng)下抗汽蚀性好。 如果仅作较大气量的压缩(suō)机使用,则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大,体积小,重量轻,径向力能得到自动平衡,轴不(bú)容(róng)易产生疲劳断裂,泵的使用寿命较长。

二、根据系统所需的气量选择真空泵

初步选定了泵的类型之后,对(duì)于真空(kōng)泵,还要根据系统所需的气(qì)量来选用(yòng)泵的型号。

 


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