真空泵在真空係統中的作用
由於各種(zhǒng)真空泵的性能除均能滿足對容器進行抽真空的共同點之外,尚具有不(bú)同(tóng)之處。因此(cǐ)在選用(yòng)時必須明確泵在真空係統中所承擔的工作任務是十分重要的,泵(bèng)在各種不同工作領域中所起的作(zuò)用歸納起來主要有如下幾個方麵。
1、在係統中做(zuò)主泵
所(suǒ)謂主泵就是對真(zhēn)空係統被抽容器(qì)直接進行抽真空,以獲(huò)得滿足工藝要求所需(xū)真空度的真(zhēn)空泵。
2、粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓開(kāi)始降低(dī)真空係統壓強達到另一抽氣係統可以開始工作的真空泵。
3、前(qián)級泵
前級泵是指用於使(shǐ)另一(yī)個泵的前級壓強維持在其高許可的前級壓強以下的真空泵。
4、維持泵(bèng)
維持泵是指當真空係統抽氣很小時(shí),不能有效的利用主要前級泵。為此,在(zài)真空係統(tǒng)中另配(pèi)一種抽(chōu)氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器(qì)所需的低壓的真空泵(bèng)。
5、粗真空泵或低真空泵
粗(cū)、低真空泵是指從大氣開始,降低(dī)被抽容器的壓強後工作在低真空或粗真空壓強範圍內的真空(kōng)泵。
6、高真空泵
高真空泵是指在高真空範圍工作的真空(kōng)泵。
7、超高真空(kōng)泵
超高真空泵是指在超(chāo)高真空範圍工作的真空泵。
8、增壓泵
增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間,用(yòng)以提高抽氣係統(tǒng)在中間壓強範圍的抽氣量或降低前級泵抽氣速率要求的真空泵。