我國真空泵市場現狀綜合分析
真空泵是一個量大麵廣的產品，產（chǎn）量很大，產值不高，但它確實是一個直接影響（xiǎng）到真空成套設備性能質量的必不可少的基（jī）礎產（chǎn）品。真空泵從（cóng）高/超（chāo）真空到（dào）粗/低真空，其產（chǎn）品大致可分14大類：
高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴（kuò）散泵。
中真空——幹泵、雙級旋片泵、羅茨（cí）泵、油（yóu）增壓泵、水蒸氣噴射泵。
粗/低真空——單級（jí）旋片泵、滑閥泵、液（yè）環泵、往（wǎng）複式真空泵。
真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變（biàn）化。市場增（zēng）長的主要驅動（dòng）力來自於（yú）半導體工業的迅速發展以及幹泵和（hé）分子泵應用領域的日益擴大。
目前，全球真空（kōng）泵市場的年銷（xiāo）售額約20億美元，年增長率在7%左右。
我國生產真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售（shòu）額（é）大約在1.5億元左右，僅相當於美國Kinney公（gōng）司一家真空（kōng）泵（bèng）的年銷售額。通過對全球真空（kōng）泵市（shì）場的分析（xī）我們可（kě）以看出，各類真空泵的市（shì）場及應用領域都在不（bú）斷變化和發展。我國真空泵製造業有著悠久的曆史和雄厚的基礎，國（guó）產真泵已經在各個不同領域得到應用並經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶（hù）的認可（kě）並受到好評，應該說我國真空泵製造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。
1.液環泵
雖（suī）然液環泵屬於粗（cū）真空泵，但在我國的（de）石油（yóu）、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外，液環（huán）泵的銷售（shòu）額占全部真空泵（bèng）市場的14%，僅次於幹泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在（zài）我國投資建廠或建立銷售網絡，不斷擴大在我國的市場份額。由於液環泵大部分是鑄件，加（jiā）工要求也不高，屬勞動（dòng）密集型（xíng）產品，所以（yǐ）國產液環泵在價格上有競爭優勢，關鍵是要改進設計，縮小體（tǐ）積，減輕重（chóng）量，提高效率（lǜ），降低能耗。
2.滑閥泵
由於滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及幹燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量（liàng）較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作夥伴。為了使國產滑閥泵（bèng）能夠進入國際市場，必（bì）須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。
3.直（zhí）聯旋片泵
隨著真空（kōng）技（jì）術在各個應用領域的（de）不斷擴大，直聯旋片泵的需求量（liàng）越來越大。由於這種泵數（shù）量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在（zài）中國建（jiàn）立專業廠（chǎng）。國產中小型直聯（lián）旋片泵在技術上已經過關，價格又遠比國（guó）外的泵便宜，所（suǒ）以國產泵仍然有競（jìng）爭優勢（shì），關鍵是要（yào）解決軸封漏油以及（jí）旋片（piàn）材料和真空泵油的性（xìng）能（néng）質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時還要進（jìn）一步提高國產（chǎn）直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力（lì）。
4.羅茨泵
從國外羅茨泵生產情況來看，國（guó）外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們（men）各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨（cí）泵（bèng）銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅（luó）茨泵產量不大，但國外羅茨泵的（de）價（jià）格（gé）遠比國產泵要高得多。目前，國內外幾（jǐ）乎所有大型或小型的高真空和中真空係統（tǒng），為了縮短抽氣時間、提高生產效（xiào）率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一（yī）定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場，這（zhè）樣就必須進一步（bù）降低國產羅茨泵的振動噪聲，徹底（dǐ）解決（jué）軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內的（de）光潔（jié）度和清潔度。另外（wài），還要考慮到有些國家和地區（qū）的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠（kào）性。
目前，國內（nèi）氣冷（lěng）式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由於這（zhè）種（zhǒng）泵（bèng）在排氣口（kǒu）的下麵裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管（guǎn）道返回泵腔以冷卻轉子，從而（ér）使壓縮（suō）熱得平衡（héng），所（suǒ）以這（zhè）種泵可以直排大氣。為（wéi）了滿足不（bú）同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一般前（qián）麵加一台氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵（bèng）高一個數量級。這種泵由於在泵腔內沒有工作介質（zhì），實際上也（yě）是屬於（yú）幹泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及（jí）機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上（shàng）得到了長（zhǎng）期運行的考驗，所（suǒ）以應該在（zài）國內大力推廣和（hé）應（yīng）用。
5.分子（zǐ）泵（bèng）
分（fèn）子泵在國外半導體領域裏的許多工（gōng）藝場合是用（yòng）來代替低溫泵，尤（yóu）其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩複（fù）合分子泵和牽引泵作為主泵。
由於分子泵（bèng）對水蒸氣的抽速（sù）僅為同口徑低溫泵抽速的四（sì）分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高（gāo）抽速，國外在分子泵的（de）入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則（zé）由（yóu）分子泵（bèng）抽走。這種低溫分子泵在真空（kōng）鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了（le）膜層質量。隨（suí）著我（wǒ）國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業（yè）迅速發展，分子泵（bèng）應該是我國真空泵製造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整係列，並研究（jiū）開發各種複合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。
6.幹泵
國外幹泵市場的不斷增長，其主（zhǔ）要驅動來自於半導（dǎo）體行業、化學工業、薄膜產業的迅速（sù）發展（zhǎn）。在日本，半導體行業已全部用幹式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導（dǎo）體（tǐ）行業45%以上用幹式真空泵代替了油封式機械泵，大（dà）大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真（zhēn）空泵、多級爪式真空（kōng）泵、螺杆式真空泵、渦旋式真空泵、往（wǎng）複式活塞真空泵以及渦（wō）輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據統計，目前國產幹泵的應用還不足1%，國內半導體工業用的（de）幹泵（bèng）全部從國外進口，其價（jià）格（gé）十分昂貴。所以（yǐ），我國應大力研究開發幹泵，使幹泵成為我國真空工業新的經濟增長點。